半导体光电, 2019, 40 (6): 786, 网络出版: 2019-12-17  

钨纳米颗粒填充法制作X射线吸收光栅

Fabrication of X-ray Absorption Gratings by Filling Tungsten Nanoparticles
作者单位
深圳大学 物理与光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室, 广东 深圳 518060
摘要
提出一种新颖、可避免高温过程的大面积吸收光栅制作方法, 使用钨纳米粒子作为X射线吸收材料, 利用有机溶剂和乳化剂作为吸收材料的载体, 在负压下将它们填充到周期为42μm、深度为150μm的光栅结构中。此外, 与通过微铸造技术制作的相同结构铋块体吸收光栅相比较, 得到的X射线投影吸收对比度表明, 钨纳米颗粒对X射线吸收性能低约15%, 但纳米颗粒填充法可显著降低吸收光栅的制作成本, 并利于实现大面积制作。
Abstract
A novel fabrication method of large-area absorption gratings was proposed to avoid the high temperature process. Tungsten nanoparticles were used as X-ray absorbing materials, and organic solvents and emulsifiers were used as carriers to bring these absorbing materials into grating structures with the period of 42μm and the depth of 150μm under a negative pressure. Moreover, by comparing X-ray absorbing grating of the bismuth-based bulk with that of the same structure fabricated by micro-casting technology, it is shown that the bismuth nanoparticles have about 15% decrease in X-ray absorbing.

李乔飞, 许桂雯, 李冀, 黄建衡, 雷耀虎. 钨纳米颗粒填充法制作X射线吸收光栅[J]. 半导体光电, 2019, 40(6): 786. LI Qiaofei, XU Guiwen, LI Ji, HUANG Jianheng, LEI Yaohu. Fabrication of X-ray Absorption Gratings by Filling Tungsten Nanoparticles[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2019, 40(6): 786.

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