%0 Journal Article %T 宽光谱广角蛾眼抗反射超表面结构设计分析 %O Chinese Journal of Lasers %A 林鹤 %A 付跃刚 %A 欧阳名钊 %A 赵宇 %A 朱启凡 %A 吴锦双 %J 中国激光 %@ 0258-7025 %V 46 %N 1 %D 2019 %P 0113002-1 %K 光学设计;亚波长结构;蛾眼超表面结构;时域有限差分法;光学窗口 %X 本研究采用严格耦合波分析法设计具有宽带广角抗反射特性的ZnS MS材料的蛾眼亚波长周期微纳结构。基于严格耦合波理论, 控制周期尺寸小于入射波长与材料折射率的比值, 实现高级次衍射波为倏逝波, 以提高蛾眼结构宽带抗反射效率。采用时域有限差分法分析蛾眼结构周期、底端直径、结构高度和顶端直径对光谱透过率的影响, 并对4种结构参数进行优化。此外, 还选取可见光、近红外和中红外三个特征波长进行宽角度入射的电场分析。研究结果表明:在短波范围内, 蛾眼宽角度抗反射性能取决于结构表面的减反射和前向散射的能力; 而在长波范围内, 蛾眼结构被视为ZnS MS平面膜层, 其光谱特性主要受Fabry-Perot干涉影响。该研究为不同波段宽角度蛾眼结构设计提供了理论依据和设计方法。 %R 10.3788/cjl201946.0113002 %U http://www.opticsjournal.net/Articles/Abstract?aid=OJ190116000369iOlRoU %W 中国光学期刊网 %1 JIS Version 3.0.0