纳米多孔金膜SPR提高多频条纹投影相位提取精度的反向误差补偿法

合肥工业大学卢荣胜教授科研团队在条纹投影三维形貌测量技术研究中,为了提高条纹相位恢复精度,克服现有的主动和被动相位误差补偿方法需要提前标定等问题,提出了一种在主值相位图中进行相位误差补偿,并结合多频相移获得绝对相位的反向误差补偿法。具体研究成果发表在《光学学报》第四期。

           

                          被测物体照片                           主值相位图                  误差补偿后正面绝对相位恢复图 

利用两幅主值相位图中的相位误差值大小相等、符号相反的特性,通过叠加互抵获得高精度的绝对相位值。

                        
                             局部俯视方向误差补偿前相位图(光滑性较差)上图误差补偿后的效果(表面光滑)

该方法无需提前标定系统的相位误差,仅需要对最高频率主值相位图进行相位误差修正,既提高了测量过程中的相位恢复精度,又缩短了测量时间,且对不同的测量对象和测量条件的变化具有良好的鲁棒性。

全文链接:http://www.opticsjournal.net/Articles/HPAbstract?manu_number=g171398