首页 > 资讯 > 标签

Hi,您目前在 全部 '光刻工艺', 共找到 3个内容。

浸没式光刻工艺中显影缺陷模型成功建立

近日,中国科学院大学微电子学院与中芯国际集成电路制造有限公司在产学研合作中取得新进展,成功在光刻工艺模块中建立了极坐标系下规避显影缺陷的物理模型。通过该模型可有效减小浸没式光刻中的显影缺陷,帮助缩短显...

阅读:394, 收藏:02018-06-11

北京航空航天大学航空发动机智能微器件洁净系统及光刻工艺设备采购项目招标公告

项目名称: 北京航空航天大学航空发动机智能微器件洁净系统及光刻工艺设备采购项目招标编号: 0730-1361GD02P001/01采购人名称:北京航空航天大学采购代理机构全称:中航技国际经贸发展有限公司采购代理机构地址:北...

阅读:221, 收藏:02013-07-25

北京航空航天大学航空发动机智能微器件洁净系统及光刻工艺设备采购项目招标公告

项目名称: 北京航空航天大学航空发动机智能微器件洁净系统及光刻工艺设备采购项目招标编号: 0730-1361GD02P001/01采购人名称:北京航空航天大学采购代理机构全称:中航技国际经贸发展有限公司采购代理机构地址:北...

阅读:266, 收藏:02013-07-24

首页上一页1下一页尾页