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EUV(极紫外线)生成的秘诀

图1:ASML前期制作扫描仪——双子扫描NXE:3100极紫外(EUV)光刻的研究已经已经超过20年了,在所有尚未解决的技术难题中,最大的难题是如何产生适用的光线。过去很长一段时间里,一些研究者曾严重怀疑250瓦的大批量...

阅读:218, 收藏:02017-09-07

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