光学平台

上海光机所高性能全蜂窝光学平台

发布:juli阅读:11488时间:2012-5-15 16:55:28
 
     根基于中科院上海光学精密机械研究所深厚的技术底蕴,自主研制了适用于精密仪器仪表、精密测量、精密加工及生物领域的精密光学平台系统,拥有多项专利技术,其中包括一项美国专利。光学平台系统隔振效果优良,GS5015-40光学平台系统满足高精密测量仪器Zygo 24”(φ600mm)干涉仪测量精度1/10λ的环境隔振要求。
 

           

Zygo 24”(φ600mm)干涉仪光学平台系统

 
 
光学平台面板

光学平台面板采用蜂窝芯三层夹心结构,蜂窝芯及夹心结构均采用恒温粘接成形工艺,具有高刚度-重量比、高固有模态振动频率、全结构宽带阻尼、动态挠度形变小、环境温度应变稳定性高等优点。有效地隔离环境低频振动激励和降低台面高频振动形变振幅。
 
技术参数:
  • 平面度    ±0.1mm/600x600mm2
  • 蜂窝内芯  薄钢带蜂窝桁架
              纵向粘接单元
  • 宽带阻尼  蜂窝芯约束层板约束阻尼
  • 安装孔    1/4in孔1in间距,边距1in
             M6螺孔25间距,边距25mm
  • 长度系列(m):0.6、0.9、1.2、1.5、1.8、2.0、2.4、3.0、3.6、4.0、4.5、5.0、
  • 宽度系列(m):0.3、0.6、0.8、1.0、1.2、1.5、1.6

        
规格系列 特色优点   应用范围
GS 6mm强磁性不锈钢面板
厚度[mm] 60,100,200,300,400
干涉仪等高精度光学试验,光电试验,工业生产
GT 2mm强磁性不锈钢面板
同样规格性能优于GS系列
厚度[mm]  30,60,100
小型光学试验和工业生产,高刚度低重量、小尺寸要求,
LT 6mm优质铝合金面板
同样规格性能优于GS系列
面板表面发黑处理
厚度[mm]  30,60,100
光学试验和工业生产。轻重量、小尺寸要求,平台表面乌光要求,
DBS 刚性连接组合平台系统,
组合后平面度好
光学试验要求长光学距离或单光源大系统试验
 
     产品种类齐全、规格多样,可根据用户需求推荐供应合适的光学平台,并接受用户特殊规格以及超大拼接平台定制。
 

 

 

  
隔振支撑

ST系列阻尼刚性支撑脚适用工业应用,环境振动优良且隔振要求较低。气浮隔振支撑采用了双气室、阻尼孔等技术,具有极低的共振频率,高效隔离可能导致台面形变的环境高频振动激励。光学平台系统根据平台负载和平台自重选用SAT支撑或BAT支撑,选配高压气源(空气压缩机或氮气瓶)和气路控制系统(高度控制阀和管路)实现光学平台的自动平衡。
 
隔振支撑系列 结构特点 固有频率   应用范围
ST 阻尼刚性支撑脚, 5-10Hz 适用工业应用
环境振动优良
隔振要求较低
SAT 膜片气囊
双气室
空气阻尼孔
垂向1.0~1.8Hz
横向1.2~2.0Hz
小平台,低负载
小型精密仪器
BAT 大膜片气囊
双气室
空气阻尼孔
垂向1.0~2.0Hz
横向1.2~2.2Hz
大平台,重负载
大型试验仪器和试验装置
 

 
 
  
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