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“1.5米扫描干涉场曝光系统”项目启动
发布:juli阅读:871时间:2013-1-24 19:49:21
经国家自然科学基金委员会、中科院计划财务局、吉林省科技厅联合评定,由国家自然科学基金委员会支持、中科院长春光机所承担的国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”日前在长春召开项目启动会。
据了解,“1.5米扫描干涉场曝光系统”项目是长春光机所首次承担的基金委国家重大科研仪器设备研制专项,总经费8300万元,研制周期5年。
该项目拟通过干涉场步进扫描曝光方式,获得具有国际先进水平的大面积高精度全息光栅,进而满足深空探测、激光惯性约束核聚变等科学研究对特种光栅的战略需求。项目将突破精密光机结构加工、测量及系统装调技术,干涉场测量及相位锁定技术,关键环境控制技术等多项关键技术,对相关领域的基础研究将带来长足进步,也将进一步奠定中科院长春光机所在国内光栅制造领域的领军地位。
来源:《中国科学报》
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