3月20日上午，清华大学精仪系刘学青、王欢博士在精仪系系馆4304大会议室分别做题为《硬质材料微纳结构精密激光制造》、《功能微流控芯片的激光微纳制备》的学术报告，光学所所长曹良才主持会议。

刘学青博士后在报告中介绍了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术。主要围绕这一技术的图形转移、灰度直写、激光改性等技术方案在硅、蓝宝石、碳化硅等硬质材料三维微纳结构制备方面的研究进行报告。

王欢博士后针对激光微纳加工技术的器件功能相对单一，加工尺度小等问题，提出了飞秒激光光动力组装、微流控芯片辅助飞秒激光直写等激光微纳加技术，制备了多种新型微结构。

精仪系师生20余人参加了报告会，并就相关问题进行了热烈讨论。

来源：清华大学