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基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

 杨朝兴, 李思坤, 王向朝

[摘要] 提出了一种基于动态适应度函数的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应度函数方法在遗传算法优化过程中采用动态适应度函数模拟真实光刻工艺条件误差对光刻结果的影响,得到对光刻工艺条件误差不敏感的优化光源和优化掩模。该方法无需优化权重系数,即可获得与权重优化后的加...

 摘要 | PDF全文 | 本期目录光学学报, 2016年第36卷第1期, pp.0111006 

用于移动可见光通信的球面型可变焦光学接收天线

 张学彬, 唐义, 崔璐, 白廷柱

[摘要] 针对可见光通信环境的复杂多样性以及传统光学接收天线应用的局限性,设计了一种可变焦光学天线作为移动可见光通信系统的接收天线。通过引入直角反射棱镜折叠空间光路的方法减小天线的厚度,且该天线各透镜面型均为球面,较大地节约了系统成本。仿真分析结果显示:系统的变倍比为2...

 摘要 | PDF全文 | 本期目录光学学报, 2016年第36卷第1期, pp.0106004 

基于数字微镜器件的光子计数对应鬼成像

 曹飞, 石剑虹, 杨莹, 曾贵华

[摘要] 提出了一种基于数字微镜器件的光子计数对应鬼成像方案。该方案采用数字微镜器件对光源进行调制,通过时间相关单光子计数技术获取光子计数值,并利用对应鬼成像算法计算目标物体的像。结合鬼成像理论和对应鬼成像理论阐明了光子计数对应鬼成像原理,并通过实验对该方案进行了验证。...

 摘要 | PDF全文 | 本期目录光学学报, 2016年第36卷第1期, pp.0111004 

扫频干涉测距光频率非线性阶次跟踪抑制方法

 刘哲, 刘志刚, 邓忠文, 陶龙

[摘要] 针对激光频率扫描干涉(FSI)测距系统中激光器输出光频率非线性对测量精度的影响,提出了一种基于非平稳信号阶次跟踪的方法。从频域的角度分析了FSI测距系统中影响测量精度的主要因素。通过检测法布里-珀罗标准具的透射信号,实现对光频率的快速间接测量。利用最小二乘的方...

 摘要 | PDF全文 | 本期目录光学学报, 2016年第36卷第1期, pp.0112003 

毛细管X光透镜的能量色散X 射线散射技术识别液体种类的方法研究

 王君玲, 段泽明, 曹金浩, 刘志国, 潘秋丽, 李融武, 程琳

[摘要] 能量色散的X 射线散射(EDXRS)技术是一种识别液体种类的有效方法。实验用毛细管X 光半透镜代替狭缝,用能量色散的X 射线散射技术进行液体种类的识别研究。实验结果表明,两个毛细管X 光半透镜组成的准直系统,能显著地提高光源的X 射线利用效率,提高散射能谱的分...

 摘要 | PDF全文 | 本期目录光学学报, 2016年第36卷第1期, pp.0129003 

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