光电工程, 2002, 29 (1): 19, 网络出版: 2007-11-14
提高Fourier变换轮廓术测量精度的新方法
A New Method for Improving Measuring Accuracy of Fourier Transform Profilometry
摘要
在傅里叶变换轮廓术测量方法中,对离散的条纹进行DFT(离散傅里叶变换)运算,存在"栅栏效应",离散频谱不能完全无误地代表原连续频谱分布,相当于在频域内发生了谱信息损失.为了减小由"栅栏效应"引入的位相误差,采用了对条纹进行空域数值加权和外插补零方法,从而提高FTP的测量精度.计算机模拟证实了所提方法的有效性.
Abstract
陈文静, 苏显渝. 提高Fourier变换轮廓术测量精度的新方法[J]. 光电工程, 2002, 29(1): 19. 陈文静, 苏显渝. A New Method for Improving Measuring Accuracy of Fourier Transform Profilometry[J]. Opto-Electronic Engineering, 2002, 29(1): 19.
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