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HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

Study of plasma treatment on multi-layer film for HgCdTe photovoltaic detector

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摘要

在HgCdTe光伏探测器件SiO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和Ar+刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件.对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离子质谱测试后发现,O+2清洗对去除样品表面的残余光刻胶效果显著;而Ar+刻蚀使ZnS表面更为粗糙,增加了成核中心,使SiO2和ZnS表面互相渗透,增强了两层介质膜的附着力.

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中图分类号:TN304.2

所属栏目:沉积技术与控制方法

收稿日期:2006-06-30

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储开慧:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
乔辉:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
汤英文:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
陈江峰:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
胡亚春:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
贾嘉:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
李向阳:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
龚海梅:中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083

备注:储开慧(1980-),女,江苏南通人,硕士,主要从事光器件设计和薄膜工艺方面工作.

【1】胡晓宁.碲镉汞的MS界面研究[M].上海:中国科学院上海技术物理研究所,1999.11~13.

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引用该论文

储开慧,乔辉,汤英文,陈江峰,胡亚春,贾嘉,李向阳,龚海梅. Study of plasma treatment on multi-layer film for HgCdTe photovoltaic detector[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 56-59

储开慧,乔辉,汤英文,陈江峰,胡亚春,贾嘉,李向阳,龚海梅. HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 56-59

被引情况

【1】张立瑶,乔辉,李向阳. HgCdTe材料的溴-甲醇抛光工艺研究. 半导体光电, 2012, 33(5): 683-685

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