中红外硅微透镜阵列的离焦效应

左海杰; 杨文; 张江勇; 应磊莹; 张保平; 侯治锦; 陈洪许; 司俊杰

doi:doi:10.11972/j.issn.1001-9014.2017.02.005

红外与毫米波学报, 2017, 36 (2): 149, 网络出版: 2017-06-06

中红外硅微透镜阵列的离焦效应

Focal shift of silicon microlens array in mid-infrared regime

左海杰 ^1,*杨文 ¹张江勇 ¹应磊莹 ¹张保平 ¹侯治锦 ²陈洪许 ²司俊杰 ²

作者单位

¹ 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室, 福建厦门 361005

² 洛阳光电技术研究中心, 河南洛阳 471009

补充材料

左海杰, 杨文, 张江勇, 应磊莹, 张保平, 侯治锦, 陈洪许, 司俊杰. 中红外硅微透镜阵列的离焦效应[J]. 红外与毫米波学报, 2017, 36(2): 149. ZUO Hai-Jie, YANG Wen, ZHANG Jiang-Yong, YING Lei-Ying, ZHANG Bao-Ping, HOU Zhi-Jin, CHEN Hong-Xu, SI Jun-Jie. Focal shift of silicon microlens array in mid-infrared regime[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2017, 36(2): 149.