红外与激光工程, 2017, 46 (9): 0920004, 网络出版: 2017-11-17
外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制
Kinetic process and tracking control of MOEMS scanning mirror under external parameter excitation
基本信息
| DOI: | 10.3788/irla201746.0920004 |
| 中图分类号: | O436 |
| 栏目: | 光电器件与微系统 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(65175054) |
| 收稿日期: | 2017-01-07 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2017-11-17 |
| 通讯作者: | 王肖伊 (wangxiaoyi11@qq.com) |
| 备注: | -- |
王肖伊, 王琪, 李赟玺, 杨亚非. 外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(9): 0920004. Wang Xiaoyi, Wang Qi, Li Yunxi, Yang Yafei. Kinetic process and tracking control of MOEMS scanning mirror under external parameter excitation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(9): 0920004.
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