红外与激光工程, 2017, 46 (9): 0920004, 网络出版: 2017-11-17
外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制
Kinetic process and tracking control of MOEMS scanning mirror under external parameter excitation
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王肖伊, 王琪, 李赟玺, 杨亚非. 外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(9): 0920004. Wang Xiaoyi, Wang Qi, Li Yunxi, Yang Yafei. Kinetic process and tracking control of MOEMS scanning mirror under external parameter excitation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(9): 0920004.
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