100 mm×100 mm镀金反射光栅的制作与测量

卜凡涛; 鲁云开; 李民康; 周常河

doi:doi:10.3788/CJL201845.0904001

中国激光, 2018, 45 (9): 0904001, 网络出版: 2018-09-08

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Fabrication and Measurement of Gold Reflective Grating with Size of 100 mm×100 mm

卜凡涛 ¹鲁云开 ^2,3李民康 ^2,3周常河 ^2,3

作者单位

¹ 上海大学机电工程与自动化学院, 上海 200072

² 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

³ 中国科学院大学, 北京 100049

图 & 表

图 1. TM模式下镀金光栅衍射效率与槽深的关系

Fig. 1. Relationship between diffraction efficiency of gold-coated grating and groove depth for TM mode

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图 2. TE模式下的镀金光栅衍射效率与槽深的关系

Fig. 2. Relationship between diffraction efficiency of gold-coated grating and groove depth for TE mode

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图 3. 达曼光栅激光直写简图

Fig. 3. Direct laser writing system with a Dammann grating

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图 4. 本课题组制作的镀金光栅

Fig. 4. Gold-coated grating prepared by our research group

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图 5. TM模式下的测量装置示意图

Fig. 5. Schematic of measuring device for TM mode

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图 6. TM模式下的衍射效率分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

Fig. 6. Diffraction efficiency map for TM mode. (a) Distribution of measurement points; (b) areal map

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图 7. TE模式下衍射效率的分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

Fig. 7. Diffraction efficiency map for TE mode. (a) Distribution of measurement points; (b) areal map

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卜凡涛, 鲁云开, 李民康, 周常河. 100 mm×100 mm镀金反射光栅的制作与测量[J]. 中国激光, 2018, 45(9): 0904001. Bu Fantao, Lu Yunkai, Li Minkang, Zhou Changhe. Fabrication and Measurement of Gold Reflective Grating with Size of 100 mm×100 mm[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(9): 0904001.

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图 1. TM模式下镀金光栅衍射效率与槽深的关系

Fig. 1. Relationship between diffraction efficiency of gold-coated grating and groove depth for TM mode

图 2. TE模式下的镀金光栅衍射效率与槽深的关系

Fig. 2. Relationship between diffraction efficiency of gold-coated grating and groove depth for TE mode

图 3. 达曼光栅激光直写简图

Fig. 3. Direct laser writing system with a Dammann grating

图 4. 本课题组制作的镀金光栅

Fig. 4. Gold-coated grating prepared by our research group

图 5. TM模式下的测量装置示意图

Fig. 5. Schematic of measuring device for TM mode

图 6. TM模式下的衍射效率分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

Fig. 6. Diffraction efficiency map for TM mode. (a) Distribution of measurement points; (b) areal map

图 7. TE模式下衍射效率的分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

Fig. 7. Diffraction efficiency map for TE mode. (a) Distribution of measurement points; (b) areal map

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图 5. TM模式下的测量装置示意图

Fig. 5. Schematic of measuring device for TM mode

图 6. TM模式下的衍射效率分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

Fig. 6. Diffraction efficiency map for TM mode. (a) Distribution of measurement points; (b) areal map

图 7. TE模式下衍射效率的分布图。(a) 测量点分布图;(b)区域分布图

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