液晶与显示, 2017, 32 (2): 104, 网络出版: 2017-02-09
载盘预处理对纯铝薄膜小丘生成的影响
Effect of pretreatment of tray on hillock formation in pure Al films
基本信息
DOI: | 10.3788/yjyxs20173202.0104 |
中图分类号: | TB31 |
栏目: | 材料与器件 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2016-08-22 |
修改稿日期: | 2016-11-01 |
网络出版日期: | 2017-02-09 |
通讯作者: | 肖亮 (xiaoliang@boe.com.cn) |
备注: | -- |
肖亮, 张勋泽, 朴祥秀. 载盘预处理对纯铝薄膜小丘生成的影响[J]. 液晶与显示, 2017, 32(2): 104. XIAO Liang, ZHANG Xun-ze, PIAO Xiang-xiu. Effect of pretreatment of tray on hillock formation in pure Al films[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(2): 104.