激光与光电子学进展, 2003, 40 (5): 20, 网络出版: 2006-06-27
同步辐射光刻用的极紫外光源
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN3;TN24 |
| 栏目: | 衍射与光栅 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2002-09-03 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2006-06-27 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
傅恩生. 同步辐射光刻用的极紫外光源[J]. 激光与光电子学进展, 2003, 40(5): 20. 傅恩生. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2003, 40(5): 20.
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