同步辐射光刻用的极紫外光源 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2003, 40 (5): 20, 网络出版: 2006-06-27

同步辐射光刻用的极紫外光源

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800

同步辐射光刻自由电子激光器

知识挖掘

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