光学 精密工程, 2002, 10 (1): 45, 网络出版: 2007-09-18
表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响
Effects of transfer function of profilometer on roughness measurement of ultra-smooth surface
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH741.3 |
| 栏目: | 测试技术及设备 |
| 项目基金: | 中科院创新基金(No.Z02L01Z) |
| 收稿日期: | 2001-03-22 |
| 修改稿日期: | 2001-06-06 |
| 网络出版日期: | 2007-09-18 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
徐长山, 巩岩, 向阳, 陈波, 曹健林. 表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响[J]. 光学 精密工程, 2002, 10(1): 45. 徐长山, 巩岩, 向阳, 陈波, 曹健林. Effects of transfer function of profilometer on roughness measurement of ultra-smooth surface[J]. Optics and Precision Engineering, 2002, 10(1): 45.
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