光电工程, 2019, 46 (5): 180444, 网络出版: 2019-07-25
TFT光刻平面补偿优化
The improvement of TFT lithography plane compensation
引用该论文
张玉虎, 徐海涛, 李亚文, 罗传文, 曹少波, 李力. TFT光刻平面补偿优化[J]. 光电工程, 2019, 46(5): 180444.
Zhang Yuhu, Xu Haitao, Li Yawen, Luo Chuanwen, Cao Shaobo, Li Li. The improvement of TFT lithography plane compensation[J]. Opto-Electronic Engineering, 2019, 46(5): 180444.
张玉虎, 徐海涛, 李亚文, 罗传文, 曹少波, 李力. TFT光刻平面补偿优化[J]. 光电工程, 2019, 46(5): 180444. Zhang Yuhu, Xu Haitao, Li Yawen, Luo Chuanwen, Cao Shaobo, Li Li. The improvement of TFT lithography plane compensation[J]. Opto-Electronic Engineering, 2019, 46(5): 180444.
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