飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展 | 光电工程 -- 中国光学期刊网

光电工程, 2017, 44 (12): 1146, 网络出版: 2018-01-17

飞秒激光过饱和掺杂硅材料的研究及发展

Research and development of femtosecond-laser hyperdoped silicon

贾子熙 ¹黄松 ¹进晓荣 ¹杨明 ¹陈战东 ^1,2姚江宏 ¹吴强 ^1,*许京军 ¹

作者单位

¹ 南开大学弱光非线性光子学教育部重点实验室，物理科学学院&泰达应用物理研究院，天津 300457

² 广西民族大学理学院，南宁 530006

过饱和掺杂飞秒激光掺杂飞秒激光加工硅 hyperdoping femtosecond laser doping femtosecond laser processing silicon

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