光学 精密工程, 2018, 26 (5): 1070, 网络出版: 2018-08-14
高Q值微机电陀螺的快速起振控制
Rapid start-up control of high Q-factor MEMS gyroscope
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20182605.1070 |
中图分类号: | V241.5 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 总装备部预研项目(No.51309010303) |
收稿日期: | 2017-11-07 |
修改稿日期: | 2018-01-05 |
网络出版日期: | 2018-08-14 |
通讯作者: | 陈志勇 (chendelta@tsinghua.edu.cn) |
备注: | -- |
陈志勇, 宋霖, 张嵘, 周斌, 魏琦. 高Q值微机电陀螺的快速起振控制[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(5): 1070. CHEN Zhi-yong, SONG Lin, ZHANG Rong, ZHOU Bin, WEI Qi. Rapid start-up control of high Q-factor MEMS gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1070.