红外与毫米波学报, 2014, 33 (4): 333, 网络出版: 2014-09-01
不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究
Performance of InGaAs detector with SiN diffusion mask
基本信息
| DOI: | 10.3724/sp.j.1010.2014.00333 |
| 中图分类号: | TN215 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | Supported by National Key Basic Research and Development Program of China (2012CB619200)， the Key Program of the National Natural Science Foundation of China (61205105,，61007067 ，61376052). |
| 收稿日期: | 2013-12-11 |
| 修改稿日期: | 2014-06-13 |
| 网络出版日期: | 2014-09-01 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
王云姬, 唐恒敬, 李雪, 邵秀梅, 杨波, 邓双燕, 龚海梅. 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究[J]. 红外与毫米波学报, 2014, 33(4): 333. WANG Yun-Ji, TANG Heng-Jing, LI Xue, SHAO Xiu-Mei, YANG Bo, DENG Shuang-Yan, GONG Hai-Mei. Performance of InGaAs detector with SiN diffusion mask[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2014, 33(4): 333.
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