不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究

王云姬; 唐恒敬; 李雪; 邵秀梅; 杨波; 邓双燕; 龚海梅

doi:doi:10.3724/sp.j.1010.2014.00333

红外与毫米波学报, 2014, 33 (4): 333, 网络出版: 2014-09-01

不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究

Performance of InGaAs detector with SiN diffusion mask

王云姬 ^1,2,3唐恒敬 ^1,2李雪 ^1,2邵秀梅 ^1,2杨波 ^1,2邓双燕 ^1,2龚海梅 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海200083

² 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料和器件重点实验室，上海200083

³ 中国科学院大学，北京100039

图 & 表

王云姬, 唐恒敬, 李雪, 邵秀梅, 杨波, 邓双燕, 龚海梅. 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究[J]. 红外与毫米波学报, 2014, 33(4): 333. WANG Yun-Ji, TANG Heng-Jing, LI Xue, SHAO Xiu-Mei, YANG Bo, DENG Shuang-Yan, GONG Hai-Mei. Performance of InGaAs detector with SiN diffusion mask[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2014, 33(4): 333.