石英玻璃与硅的飞秒激光微连接及其接头性能研究

程战; 郭伟; 刘磊; 邹贵生; 周运鸿

doi:doi:10.3788/cjl201542.0906004

中国激光, 2015, 42 (9): 0906004, 网络出版: 2015-09-06

石英玻璃与硅的飞秒激光微连接及其接头性能研究

Mechanical Properties of Microweld of Silica Glass to Silicon by Femtosecond Laser

程战 ^1,*郭伟 ¹刘磊 ²邹贵生 ²周运鸿 ^2,3

作者单位

¹ 北京航空航天大学机械工程及自动化学院, 北京 100191

² 清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室, 北京 100084

³ 滑铁卢大学机械与机械电子工程系, 安大略滑铁卢 N2L3G1

图 & 表

程战, 郭伟, 刘磊, 邹贵生, 周运鸿. 石英玻璃与硅的飞秒激光微连接及其接头性能研究[J]. 中国激光, 2015, 42(9): 0906004. Cheng Zhan, Guo Wei, Liu Lei, Zou Guisheng, Zhou Yunhong. Mechanical Properties of Microweld of Silica Glass to Silicon by Femtosecond Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(9): 0906004.