激光技术, 2013, 37 (1): 24, 网络出版: 2013-03-28
一种高分辨率ITO线路缺陷检测系统
A high resolution defect detection system for ITO lines
基本信息
| DOI: | 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.006 |
| 中图分类号: | TN247 |
| 栏目: | 激光与光电子技术应用 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2012-05-10 |
| 修改稿日期: | 2012-06-14 |
| 网络出版日期: | 2013-03-28 |
| 通讯作者: | 沈淦松 (ytye@uestc.edu.cn) |
| 备注: | -- |
沈淦松, 叶玉堂, 李昌海. 一种高分辨率ITO线路缺陷检测系统[J]. 激光技术, 2013, 37(1): 24. SHEN Gan-song, YE Yu-tang, LI Chang-hai. A high resolution defect detection system for ITO lines[J]. Laser Technology, 2013, 37(1): 24.
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