光学仪器, 2018, 40 (1): 78, 网络出版: 2018-04-09
光学元件表面缺陷检测方法研究现状
Study on surface defect detection method of optical element
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1005-5630.2018.01.014 |
| 中图分类号: | TP 391 |
| 栏目: | 综 述 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(51375094)、清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目(SKLTKF13B02)、福建省自然科学基金资助项目(2015J01195) |
| 收稿日期: | 2017-06-20 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2018-04-09 |
| 通讯作者: | 向弋川 (842225584@qq.com) |
| 备注: | -- |
向弋川, 林有希, 任志英. 光学元件表面缺陷检测方法研究现状[J]. 光学仪器, 2018, 40(1): 78. XIANG Yichuan, LIN Youxi, REN Zhiying. Study on surface defect detection method of optical element[J]. Optical Instruments, 2018, 40(1): 78.
PDF全文
