光学仪器, 2012, 34 (5): 5, 网络出版: 2012-12-06
基于像散原理的并行共焦检测的微形貌参数的可视化测量
Visualization measurements of the morphology parameters in a parallel confocal system based on astigmatism method
基本信息
DOI: | 10.3969/j.issn.1005-5630.2012.05.002 |
中图分类号: | O 439/TP 391 |
栏目: | 测试技术 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(50775063) |
收稿日期: | 2012-02-20 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2012-12-06 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
赵晶晶, 刘文文. 基于像散原理的并行共焦检测的微形貌参数的可视化测量[J]. 光学仪器, 2012, 34(5): 5. ZHAO Jingjing, LIU Wenwen. Visualization measurements of the morphology parameters in a parallel confocal system based on astigmatism method[J]. Optical Instruments, 2012, 34(5): 5.