曲面基底衍射光学元件的激光直写技术下载： 552次 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2017, 44 (6): 0602002, 网络出版: 2017-06-08

曲面基底衍射光学元件的激光直写技术下载： 552次

Laser Direct Writing Technique of Diffraction Optical Element on Curved-Surface Substrate

姜俊 ^1,*刘晋桥 ²徐颖 ¹于颜豪 ¹

作者单位

¹ 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室, 吉林长春 130012

² 西安交通大学机械工程学院, 陕西西安 710049

激光光学衍射光学元件飞秒激光直写极坐标系扫描 laser optics diffractive optical elements femtosecond laser direct writing polar coordinate scanning

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