一种前照式CMOS探测器像元内响应测量和解算方法

胡琸悦; 周晓东; 唐玉俊; 陈凡胜

doi:doi:10.3788/CJL201946.0910002

中国激光, 2019, 46 (9): 0910002, 网络出版: 2019-09-10

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Measurement and Resolution Method for Intra-Pixel Response of Front-Illuminated CMOS Sensors

胡琸悦 ^1,2周晓东 ³唐玉俊 ¹陈凡胜 ^1,*

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所智能红外感知重点实验室, 上海 200083

² 中国科学院大学, 北京 100049

³ 上海航天技术研究院, 上海 201109

图 & 表

图 1. 像元内响应测试装置

Fig. 1. Intra-pixel response test system

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图 2. 像元内部设计结构

Fig. 2. Internal structure of pixel

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图 3. 归一化像元响应值随点目标位置的分布

Fig. 3. Normalized pixel response versus position of point target

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图 4. 点目标成像在像元不同位置时像元响应的拟合值和实测值

Fig. 4. Fitting and measured values of pixel response of point target imaging at different positions

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表 1拟合得到的参数

Table1. Parameters obtained by fitting

Radius of hole /μm	FWHM /μm	a /μm	b /μm	c /μm	d /μm	r_es /%
37.5	6.535	18.0	13.5	18.0	18.5	8.74
65.0	7.948	18.5	12.5	18.5	15.0	9.68
65.0	8.066	18.0	16.0	19.5	16.0	10.39
65.0	8.184	18.5	16.5	19.0	17.0	8.65

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胡琸悦, 周晓东, 唐玉俊, 陈凡胜. 一种前照式CMOS探测器像元内响应测量和解算方法[J]. 中国激光, 2019, 46(9): 0910002. Hu Zhuoyue, Zhou Xiaodong, Tang Yujun, Chen Fansheng. Measurement and Resolution Method for Intra-Pixel Response of Front-Illuminated CMOS Sensors[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(9): 0910002.

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图 1. 像元内响应测试装置

Fig. 1. Intra-pixel response test system

图 2. 像元内部设计结构

Fig. 2. Internal structure of pixel

图 3. 归一化像元响应值随点目标位置的分布

Fig. 3. Normalized pixel response versus position of point target

图 4. 点目标成像在像元不同位置时像元响应的拟合值和实测值

Fig. 4. Fitting and measured values of pixel response of point target imaging at different positions

表 1拟合得到的参数

Table1. Parameters obtained by fitting

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图 1. 像元内响应测试装置

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Fig. 3. Normalized pixel response versus position of point target

图 4. 点目标成像在像元不同位置时像元响应的拟合值和实测值

Fig. 4. Fitting and measured values of pixel response of point target imaging at different positions

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Table1. Parameters obtained by fitting

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