泰曼-格林干涉型衍射光栅位移传感器

梁洲鑫; 李孟委; 张瑞; 金丽; 辛晨光; 解琨阳; 赵宏波

doi:doi:10.3788/CJL202047.0410002

中国激光, 2020, 47 (4): 0410002, 网络出版: 2020-04-09

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Diffraction Grating Displacement Sensor Based on Twyman-Green Interference

梁洲鑫 ^1,2,3李孟委 ^1,2张瑞 ^1,3金丽 ^1,2辛晨光 ^1,2解琨阳 ^1,3赵宏波 ^1,2,3

作者单位

¹ 中北大学前沿交叉科学研究院, 山西太原 030051

² 中北大学电子测试技术国防重点实验室, 山西太原 030051

³ 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心, 山西太原 030051

补充材料

梁洲鑫, 李孟委, 张瑞, 金丽, 辛晨光, 解琨阳, 赵宏波. 泰曼-格林干涉型衍射光栅位移传感器[J]. 中国激光, 2020, 47(4): 0410002. Liang Zhouxin, Li Mengwei, Zhang Rui, Jin Li, Xin Chenguang, Xie Kunyang, Zhao Hongbo. Diffraction Grating Displacement Sensor Based on Twyman-Green Interference[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(4): 0410002.