用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析 
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Analysis on Precision Assembly Characteristics of Prism Expander Applied to Spectrum Control
1 中国科学院光电研究院， 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心， 北京 100094
3 中国科学院大学， 北京 100094
图 & 表
图 1. 线宽压窄模块结构示意图
Fig. 1. Structural diagram of linewidth narrowing module
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图 2. 光束入射棱镜角度示意图
Fig. 2. Diagram of beam incident angle to prism
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图 3. 棱镜左右偏转及俯仰偏转角度示意图
Fig. 3. Diagram of left and right deflection and pitching deflection of prism
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图 4. 前序光束入射角变化对后序光束入射角的影响
Fig. 4. Effect of preorder beam incident angle change on postorder beam incident angle
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图 5. 线宽压窄模块光路传输示意图
Fig. 5. Diagram of optical path transmission in linewidth narrowing module
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图 6. 棱镜发生左右偏转时的光路传输示意图。(a)光束在光栅的右边缘;(b)光束在光栅的左边缘
Fig. 6. Diagram of optical path transmission under left and right deflection of prism. (a) Beam is on right edge of grating; (b) beam is on left edge of grating
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图 7. 棱镜入射角度与线宽测量光路图
Fig. 7. Incident angle of prism and optical path of linewidth measurement
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图 8. 线宽随第4个棱镜入射角的变化
Fig. 8. Relationship between incident angle to prim 4 and linewidth
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表 1棱镜角度变化与线宽变化
Table1. Changes of prism angle and linewidth
| Prism | Variation in prismangle when linewidthchanges 0.01 pm /(°) | Variation in linewidthwhen anglechanges 1° /pm |
|---|
| 1 | 0.5 | 0.0189 | | 2 | 0.5 | 0.0178 | | 3 | 0.6 | 0.0153 | | 4 | 1.0 | 0.0100 |
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表 2光束照射到光栅边缘时棱镜左右偏转角度
Table2. Left and right deflection angles when beam irradiates to edge of grating
| Prism | Deflection angle /(°) |
|---|
| Irradiate to leftedge of grating | Irradiate to rightedge of grating |
|---|
| 1 | 0.5 | -0.6 | | 2 | 0.6 | -0.9 | | 3 | 0.6 | -4.7 | | 4 | 1.5 | -0.5 |
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表 3第4个棱镜左右偏转时能量E及FWHM测量结果
Table3. Measurement results of energy E and FWHM under left and right deflection of prism 4
| θ4 /(°) | E /μJ | FWHM (average value in 60 s) /pm |
|---|
| 74 | 111 | 0.972 | | 73 | 110 | 0.985 | | 72 | 112 | 1.000 | | 71 | 113 | 1.020 | | 70 | 115 | 1.047 |
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王倩, 赵江山, 周翊. 用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析[J]. 中国激光, 2018, 45(4): 0401012. Wang Qian, Zhao Jiangshan, Zhou Yi. Analysis on Precision Assembly Characteristics of Prism Expander Applied to Spectrum Control[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(4): 0401012.
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