发光学报, 2018, 39 (12): 1714, 网络出版: 2018-12-25
垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究
Study on Wet Oxidation Process in Vertical Cavity Surface Emitting Laser
基本信息
| DOI: | 10.3788/fgxb20183912.1714 |
| 中图分类号: | TN248.4 |
| 栏目: | 器件制备及器件物理 |
| 项目基金: | 国家自然科学青年基金(61505003)资助项目 |
| 收稿日期: | 2018-02-28 |
| 修改稿日期: | 2018-05-29 |
| 网络出版日期: | 2018-12-25 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李颖, 周广正, 兰天, 王智勇. 垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究[J]. 发光学报, 2018, 39(12): 1714. LI Ying, ZHOU Guang-zheng, LAN Tian, WANG Zhi-yong. Study on Wet Oxidation Process in Vertical Cavity Surface Emitting Laser[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2018, 39(12): 1714.
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