光电编码器检测装置研究现状与展望

刘小树; 万秋华; 王树洁; 杨守旺; 孙莹

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2016.06.001

半导体光电, 2016, 37 (6): 763, 网络出版: 2016-12-30

光电编码器检测装置研究现状与展望

Current Developing Situation and Trend of Measurement Devices of Photoelectric Encoder

刘小树 ^1,2万秋华 ^1,*王树洁 ¹杨守旺 ¹孙莹 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春130033

² 中国科学院大学, 北京100049

补充材料

刘小树, 万秋华, 王树洁, 杨守旺, 孙莹. 光电编码器检测装置研究现状与展望[J]. 半导体光电, 2016, 37(6): 763. LIU Xiaoshu, WAN Qiuhua, WANG Shujie, YANG Shouwang, SUN Ying. Current Developing Situation and Trend of Measurement Devices of Photoelectric Encoder[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2016, 37(6): 763.