光电工程, 2016, 43 (1): 0055, 网络出版: 2016-03-22
全反射式宽光谱成像椭偏仪
All-reflective Broadband Spectroscopic Imaging Ellipsometer
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1003-501x.2016.01.010 |
| 中图分类号: | O436.3 |
| 栏目: | 光电测量与检测 |
| 项目基金: | 中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001) |
| 收稿日期: | 2015-01-28 |
| 修改稿日期: | 2015-04-23 |
| 网络出版日期: | 2016-03-22 |
| 通讯作者: | 姜春光 (chunguangj@163.com) |
| 备注: | -- |
姜春光, 谌雅琴, 刘涛, 熊伟, 李国光, 纪峰. 全反射式宽光谱成像椭偏仪[J]. 光电工程, 2016, 43(1): 0055. JIANG Chunguang, CHEN Yaqin, LIU Tao, XIONG Wei, LI Guoguang, JI Feng. All-reflective Broadband Spectroscopic Imaging Ellipsometer[J]. Opto-Electronic Engineering, 2016, 43(1): 0055.
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