空间光学元件超精密气囊抛光的去除特性研究

李洪玉; 张伟; 于国彧

光学学报, 2009, 29 (3): 811, 网络出版: 2009-03-17

空间光学元件超精密气囊抛光的去除特性研究

Removing Characteristics of Ultraprecise Bonnet Polishing on Spatial Optics Elements

李洪玉 ^1,*张伟 ¹于国彧 ²

作者单位

¹ 哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心, 黑龙江哈尔滨 150001

² 英国国家超精密光学表面实验室, UK LL17 0JD

补充材料

李洪玉, 张伟, 于国彧. 空间光学元件超精密气囊抛光的去除特性研究[J]. 光学学报, 2009, 29(3): 811. Li Hongyu, Zhang Wei, Yu Guoyu. Removing Characteristics of Ultraprecise Bonnet Polishing on Spatial Optics Elements[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(3): 811.