光学 精密工程, 2018, 26 (5): 1156, 网络出版: 2018-08-14
X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真
Fabrication, testing and simulation of microneedle array based on X-ray lithography
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20182605.1156 |
| 中图分类号: | TN205;TN305.7 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.51035005)、 上海应用技术大学光电传感检测系统协同创新平台资助项目(No.10210Q172019)、 上海市联盟计划项目(No.LM201712) |
| 收稿日期: | 2017-11-27 |
| 修改稿日期: | 2018-01-10 |
| 网络出版日期: | 2018-08-14 |
| 通讯作者: | 李以贵 (ygli@sit.edu.cn) |
| 备注: | -- |
李以贵, 吴文渊, 王欢, 蔡金东, 吕曈. X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(5): 1156. LI Yi-gui, WU Wen-yuan, WANG Huan, CAI Jin-dong, L Tong. Fabrication, testing and simulation of microneedle array based on X-ray lithography[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1156.
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