X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真

李以贵; 吴文渊; 王欢; 蔡金东; 吕曈

doi:doi:10.3788/ope.20182605.1156

光学精密工程, 2018, 26 (5): 1156, 网络出版: 2018-08-14

X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真

Fabrication, testing and simulation of microneedle array based on X-ray lithography

李以贵 ^1,*吴文渊 ¹王欢 ¹蔡金东 ²吕曈 ²

作者单位

¹ 上海应用技术大学理学院, 上海 201418

² 上海应用技术大学机械工程学院, 上海 201418

图 & 表

李以贵, 吴文渊, 王欢, 蔡金东, 吕曈. X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真[J]. 光学精密工程, 2018, 26(5): 1156. LI Yi-gui, WU Wen-yuan, WANG Huan, CAI Jin-dong, L Tong. Fabrication, testing and simulation of microneedle array based on X-ray lithography[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1156.