微喷孔聚酰亚胺表面持续性亲水工艺

赵翔; 贾志新; 张康生; 李勇; 周凯

doi:doi:10.3788/ope.20182609.2198

光学精密工程, 2018, 26 (9): 2198, 网络出版: 2018-12-16

微喷孔聚酰亚胺表面持续性亲水工艺

Hydrophilic retention process of micro nozzle on polyimide surface

赵翔 ^1,2贾志新 ¹张康生 ¹李勇 ²周凯 ²

作者单位

¹ 北京科技大学机械工程学院, 北京 100083

² 清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室, 北京 100084

图 & 表

赵翔, 贾志新, 张康生, 李勇, 周凯. 微喷孔聚酰亚胺表面持续性亲水工艺[J]. 光学精密工程, 2018, 26(9): 2198. ZHAO Xiang, JIA Zhi-xin, ZHANG Kang-sheng, LI Yong, ZHOU Kai. Hydrophilic retention process of micro nozzle on polyimide surface[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(9): 2198.