光学技术, 2018, 44 (6): 681, 网络出版: 2019-01-10
高精度共焦自准直中心偏测量装置
Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH741 |
| 栏目: | 光学测量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61327010,51405020)、 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ04013602) |
| 收稿日期: | 2017-06-27 |
| 修改稿日期: | 2017-11-29 |
| 网络出版日期: | 2019-01-10 |
| 通讯作者: | 葛洪 (472615654@qq.com) |
| 备注: | -- |
葛洪, 王允, 邱丽荣. 高精度共焦自准直中心偏测量装置[J]. 光学技术, 2018, 44(6): 681. GE Hong, WANG Yun, QIU Lirong. Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy[J]. Optical Technique, 2018, 44(6): 681.
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