光学 精密工程, 2018, 26 (1): 114, 网络出版: 2018-03-14
光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形
Deformation of glass sheet supported by gas bearing under optical testing
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20182601.0114 |
| 中图分类号: | TH122, TG65 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2013YQ220749) |
| 收稿日期: | 2017-04-28 |
| 修改稿日期: | 2017-06-30 |
| 网络出版日期: | 2018-03-14 |
| 通讯作者: | 黄斌 (ahhb7310168@163.com) |
| 备注: | -- |
黄斌, 李程伟, 王晓梦. 光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(1): 114. HUANG Bin, LI Cheng-wei, WANG Xiao-meng. Deformation of glass sheet supported by gas bearing under optical testing[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(1): 114.
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