光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形 | 光学精密工程 -- 中国光学期刊网

光学精密工程, 2018, 26 (1): 114, 网络出版: 2018-03-14

光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形

Deformation of glass sheet supported by gas bearing under optical testing

黄斌 ^1,*李程伟 ^1,2王晓梦 ^1,2

作者单位

¹ 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽合肥 230009

² 合肥工业大学智能制造技术研究院, 安徽合肥 230009

玻璃基板检测连续载荷挠度 Fluent仿真气浮支承 glass substrate detection continuous load deflection Fluent simulation gas suspension

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