应用光学, 2013, 34 (5): 845, 网络出版: 2013-12-04
关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究
Measurement accuracy improvement of Fourier transform profilometry
基本信息
| DOI: | 10.5768/jao201334.0503006 |
| 中图分类号: | TN206 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家973重点基础研究发展规划资助项目(2009CB72400603B)、 中国科学院航空光学成像与测量重点实验室开放课题(Y2HC1SR123) |
| 收稿日期: | 2013-03-04 |
| 修改稿日期: | 2013-05-14 |
| 网络出版日期: | 2013-12-04 |
| 通讯作者: | 郭文静 (1574546998@qq.com) |
| 备注: | -- |
郭文静, 石兵华, 金永. 关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究[J]. 应用光学, 2013, 34(5): 845. GUO Wen-jing, SHI Bing-hua, JIN Yong. Measurement accuracy improvement of Fourier transform profilometry[J]. Journal of Applied Optics, 2013, 34(5): 845.
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