应用光学, 2013, 34 (5): 845, 网络出版: 2013-12-04   

关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究

Measurement accuracy improvement of Fourier transform profilometry
作者单位
中北大学 电子测试技术国家重点实验室,山西 太原 030051
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郭文静, 石兵华, 金永. 关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究[J]. 应用光学, 2013, 34(5): 845. GUO Wen-jing, SHI Bing-hua, JIN Yong. Measurement accuracy improvement of Fourier transform profilometry[J]. Journal of Applied Optics, 2013, 34(5): 845.

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