基于激光干涉的电容位移传感器非线性误差标定方法

王大鹏; 金星; 周伟静; 李南雷

doi:doi:10.3788/lop54.101203

激光与光电子学进展, 2017, 54 (10): 101203, 网络出版: 2017-10-09

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Nonlinear Error Calibration Method for Capacitive Displacement Sensor Based on Laser Interferometry

王大鹏 ^*金星周伟静李南雷

作者单位

装备学院激光推进及其应用国家重点实验室, 北京 101416

补充材料

王大鹏, 金星, 周伟静, 李南雷. 基于激光干涉的电容位移传感器非线性误差标定方法[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(10): 101203. Wang Dapeng, Jin Xing, Zhou Weijing, Li Nanlei. Nonlinear Error Calibration Method for Capacitive Displacement Sensor Based on Laser Interferometry[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(10): 101203.