飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究

罗坤; 陈向前; 彭滟; 朱亦鸣

doi:doi:10.3969/j.issn.1005-5630.2016.05.005

光学仪器, 2016, 38 (5): 402, 网络出版: 2016-12-23

飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究

Study of the effects of femtosecond laser peak power to silicon micro-structure

罗坤 ^1,2,*陈向前 ^1,2彭滟 ^1,2朱亦鸣 ^1,2

作者单位

¹ 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093

² 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093

引用该论文

罗坤, 陈向前, 彭滟, 朱亦鸣. 飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究[J]. 光学仪器, 2016, 38(5): 402.

LUO Kun, CHEN Xiangqian, PENG Yan, ZHU Yiming. Study of the effects of femtosecond laser peak power to silicon micro-structure[J]. Optical Instruments, 2016, 38(5): 402.

引用列表

1、结构紧凑的kHz重复频率光纤-固体皮秒激光光源中国激光, 2018, 45 (4): 401010

罗坤, 陈向前, 彭滟, 朱亦鸣. 飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究[J]. 光学仪器, 2016, 38(5): 402. LUO Kun, CHEN Xiangqian, PENG Yan, ZHU Yiming. Study of the effects of femtosecond laser peak power to silicon micro-structure[J]. Optical Instruments, 2016, 38(5): 402.

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