西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
为实现光学元件表面疵病的三维全场测量,提出了一种数字全息显微扫描成像的检测方法。该方法基于数字全息角谱数值重建算法,获得光学元件表面划痕的相位分布,通过扫描拼接实现划痕的全场测量;然后,在数字全息显微实验装置的基础上增加二维精密扫描部件,对于宽50 μm、深50 nm标准划痕,测得其宽度为49.2 μm、深度为48.9 nm,同时拼接获得该划痕的全场三维形貌。实验表明:该检测方法可实现大视场划痕缺陷的全场三维测试,其宽度和深度测量的相对误差分别为1.6%和2.2%。
全息 划痕检测 数字全息 扫描拼接 全场测试
1 西安工业大学 光电工程学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安 710021
2 中国兵器科学院宁波分院,浙江 宁波 310022
为提高数字全息显微系统的重建效果,将凸集投影算法应用于数字全息中,以实现数字全息的超分辨重建.首先,在数字全息和凸集投影法的理论基础上,搭建透射式离轴数字全息显微实验光路.然后,利用分辨率板验证凸集投影法在全息图超分辨率复原中的有效性.最后,通过微透镜阵列验证该方法在三维重建中的可行性.将参考全息图的三维重建结果,分别与低分辨率全息图和超分辨率复原全息图的重建结果进行残差估计.结果表明,后者残差的峰谷值和均方根值相比前者分别降低了36.88%和70.66%,证明该方法能够实现数字全息的超分辨重建.
光学测量 数字全息 凸集投影 角谱法 超分辨技术 Optical testing Digital holography Project onto convex set Angular spectrum Super resolution algorithm 光子学报
2019, 48(10): 1009001
