1 中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室, 上海 201800
基于掺镱光纤激光放大器理论模型,分析了光纤放大器中掺镱光纤弯曲半径对模式传输损耗的影响以及掺镱光纤长度对系统光-光转换效率的影响。结合实验中采用的掺镱光纤的特点,对掺镱光纤的弯曲半径及光纤长度进行了优化设计。基于主振荡放大结构中,种子光源的输出功率为170 W,光束质量为 M2x=1.10, M2y=1.05;放大器采用双端抽运的方式,使用自研30/600 μm掺镱光纤,最终实现了输出功率为10.14 kW,中心波长为1070.36 nm,3 dB带宽为5.32 nm的全光纤激光输出,光束质量为 M2x=3.12, M2y=3.18。放大级最大光-光转换效率为87.9%,斜率效率为89.2%,输出激光信噪比大于45 dB。
光纤光学 光纤放大器 掺镱光纤 主振荡放大 双端抽运 高效率 中国激光
2020, 47(10): 1006001
1 中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室， 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心， 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室， 上海 201800
基于自主研发的大模场增益光纤和无源器件，采用双端抽运技术，搭建了一台全国产化10 kW 光纤激光器，实现了非线性效应抑制。该激光器的功率放大器的输出功率达到10.14 kW，中心波长为1070.36 nm，3 dB光谱带宽为5.32 nm。其主放大级最大光-光转换效率为87.8%，斜率效率为89.2%，成为目前国内报道的效率最高的10 kW级光纤激光器。
激光器 掺镱光纤 主振荡放大 高效率
Author Affiliations
Abstract
1 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2 Shanghai Key Laboratory of All Solid-state Laser and Applied Techniques, Shanghai 201800, China
Accurate and precise wavelength controlling of narrowband excimer lasers is essential for the lithography of an integrated circuit. High-precision wavelength tuning and calibration of a line-narrowed ArF laser are presented in this work. The laser spectrum is narrowed to a sub-picometer with a line narrowing system. Absolute wavelength calibration of the line-narrowed laser is performed based on the optogalvanic (OG) effect using iron hollow cathode discharge (HCD). An sccuracy of better than 0.1 pm for wavelength tuning and calibration is achieved with our homemade wavemeter.
140.2180 Excimer lasers 150.1488 Calibration 300.6440 Spectroscopy, optogalvanic 300.3700 Linewidth Chinese Optics Letters
2017, 15(7): 071402
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
实验研究了注入控制对铜蒸气激光非稳腔输出光束质量的影响,从输出光发散角时间分辨过程的测量结果说明注入光加速了被注入腔内激光发散角的减小过程。由于被注入腔内放大自发辐射的存在,为得到较好的注入控制效果,注入光的脉宽和进入被注入腔的延时必须恰当。
注入控制 非稳腔 发散角 铜蒸气激光
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
利用并改进平板玻璃两面P偏振光反射光强比的测量来确定玻璃表面层光学参数的方法,测量了平板玻璃两面P偏振光反射光强比C与入射角Hi的关系曲线。运用新的表面层模型进行数据模拟,获得了表面层的光学参数分布。
玻璃 反射比 表面层 光学参数分布
1 中国科学院上海光机所, 上海 201800
2 上海大学嘉定校区射线应用研究所, 上海 201800
报道了一种具有252 nm吸收峰波长的光聚合物。在平均功率密度为1 mW/mm2的铜激光倍频光辐射30 min后,实验得到了尺寸为12×2.5×5(mm)的固体模型。
铜激光 倍频 固化
通过改变气压、脉冲重复频率以及注入电功率等参量，探讨了Cu-Ne-HBr激光器的工作特性，测量了一些参量之间的关系，并对此进行了讨论。分析了HBr气体在Cu-Ne-HBr激光器中的作用。实验得出在充电电压较低(<2 kV)的条件下，器件工作的最佳参量为:混合气压比约15:1(Ne:HBr)，最佳脉冲重复频率20 kHz，最佳混合气压2.66 kPa左右。
Cu-Ne-HBr激光器 工作参量 运转特性
采用自滤波振荡，腔内起偏，行波放大的铜激光系统，获得了发散角接近衍射极限，偏振度为97%，绿光输出功率为8.8 W的铜激光，并与非稳腔振荡行波放大的铜激光系统进行了比较。
铜激光 自滤波 振荡放大
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中信频,当基频光功率为5.4 W时,倍频效率达14.4%。用钢激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0 μm。
铜激光 倍频 光刻
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
为获得接近衍射极限发散角的铜激光,设计了共焦及平凹二种自滤波非稳腔并研究了它们的输出特性,分别获得了发散角为2.5倍及1.4倍衍射极限的铜激光.
铜蒸气激光 自滤波非稳腔 发散角
