1 南京理工大学电光学院,江苏,南京,210094
2 中国科学院长春光所,吉林,长春,130022
理论分析了用干涉法测量压电陶瓷的动态频率响应特性的方法,建立了由泰曼-格林干涉仪和光电转换测量系统组成的实验装置,只要电源允许,测量的频率可以达到5kHz.实验结果表明,测量方法简便可行,易于实现,测量范围大、误差小.
干涉 压电陶瓷 动态频率响应 Interference Piezoelectric ceramic Dynamic frequency response
环境振动使干涉测量技术的应用受到制约,自适应抗振干涉术是当前消除干涉仪受外界振动影响的有效方法,也是国际上正在研究的热门课题.文中研讨并总结了国际上在这个方面的最新研究成果,并对各种方法的优缺点进行了比较.
自适应抗振技术 振动 光反馈 电光调制 Adaptive vibration-resistant technique Vibration Optical feedback Electro-optical modulation
讨论了干涉测试表面功率谱密度(PSD)的移相式数字波面干涉仪需注意的问题，即如何保持严格相干性；引起波面测量误差的干涉场杂纹消除的原理和方法；干涉仪频响特性的标定等。
波面功率谱密度 空间频率 干涉仪
