作者单位
摘要
清华大学 精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
集成光子芯片是将激光光源、低损耗波导、调制器、探测器等多类光电器件结合在一起,实现功能化集成,在高速光通讯、量子信息处理、光学传感等领域有具有重要的应用。然而由于不同的光电器件基于不同材料体系,实现多材料体系的光电器件集成极其困难。传统的异质集成和单片集成方法难以同时解决定位精度不足、低拓展性、高损耗、低带宽等一系列问题。基于飞秒激光的双光子聚合技术具有高精度和高穿透的优势,可以实现多材料体系的片上微纳光学元件增材制造,具有极高的加工自由度。本文对片上光学元件的激光增材制造这一领域进行综述,探讨了光子引线键合和微空间光路元件两种技术路径,总结了现有技术的发展现状,并对未来的发展前景进行了展望。
集成光学 增材制造 飞秒激光 双光子聚合 混合集成 光子引线键合 微空间光路元件 Integrated optics Additive manufacturing Femtosecond laser Two-photon polymerization Hybrid integration Photonic wire bonding Micro-space optical device 
光子学报
2022, 51(8): 0851512
作者单位
摘要
清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
超快激光是指脉冲宽度极窄的激光,其瞬时功率极高,与物质之间的相互作用呈现出非线性、非平衡、多尺度的状态。超快激光具有超快(脉冲持续时间短)、超强(瞬时功率高)、超精细(加工结构精细)等特点,由此实现的非线性激光制造技术可以打破传统微纳制造的局限,实现各类难加工材料和复杂微纳结构的超精细制造,精度可达亚微米至纳米量级,在微光学、生物医学、智能电子器件等前沿领域体现出了独特的应用价值。文中主要聚焦飞秒激光微纳加工技术前沿,简要概括了飞秒激光加工的特点;介绍了飞秒激光加工的主要技术手段,包括飞秒激光直写和飞秒激光并行加工;讨论了飞秒激光加工技术的前沿应用领域,如微纳光学器件、微流体器件、多功能结构化表面、生物医学工程等;最后,对飞秒激光加工制造技术未来的发展趋势和研究方向进行展望。
超快激光 飞秒激光 非线性相互作用 微纳制造 三维加工 ultrafast laser femtosecond laser nonlinear interaction micro-nano manufacturing 3D fabrication 
红外与激光工程
2022, 51(1): 20220005
作者单位
摘要
1 清华大学
2 吉林大学
光子学报
2021, 50(6): 1
作者单位
摘要
1 清华大学精密仪器系, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
2 吉林大学电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点实验室, 吉林 长春 130012
石墨烯由于独特的物理化学性质成为电子器件研发的热点材料。近年来,在石墨烯材料的器件化发展过程中,激光加工技术起到了重要的推动作用。本文综述了激光加工石墨烯在传感器与执行器方面的研究进展,介绍了三种常见的激光加工制备石墨烯材料的方法,包括激光还原石墨烯氧化物、激光诱导石墨烯生成和激光剪裁石墨烯,同时详细阐述了激光加工石墨烯材料在传感器和执行器方面的研究进展,最后对激光加工石墨烯材料在未来的发展与应用进行了总结与展望。
激光技术 石墨烯 石墨烯氧化物 传感器 执行器 
中国激光
2021, 48(15): 1502003
作者单位
摘要
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
热载流子能量耗散是太阳能电池效率损耗的主要来源之一。近年来,钙钛矿中的热载流子效应获得了研究人员的广泛关注。相比于传统半导体材料,钙钛矿具有较慢的热载流子冷却过程,有望利用这些热载流子,提高太阳能电池的能量转换效率,克服单结太阳能电池的Shockley-Queisser极限。本文主要阐述了近几年人们利用超快光谱技术在钙钛矿中观测到的热载流子弛豫现象,总结了其热载流子的动力学特性;对钙钛矿中各种体系中热载流子冷却的机理进行了梳理,并讨论了钙钛矿中热载流子的传输特性和抽取方法;最后对钙钛矿中的热载流子弛豫过程的调控和其热载流子太阳能电池中的应用发展进行了展望。
超快光学 超快光谱 热载流子 太阳能电池 钙钛矿 
光学学报
2021, 41(8): 0823009
作者单位
摘要
中国激光
2021, 48(2): 0202000
作者单位
摘要
1 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室, 吉林 长春 130012
2 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
以激光加工工艺为基础,仿照荷叶超疏水表面对聚偏氟乙烯薄膜进行加工,实现了具有微结构、低表面能的超疏水聚偏氟乙烯表面,该方法简便且不涉及化学试剂。实验结果表明,激光处理后的聚偏氟乙烯薄膜表面具有类似荷叶表面的微乳突结构,碳元素与氟元素的含量(原子数分数)比由1.2提高至11.5。聚偏氟乙烯薄膜的水滴接触角约为82°,激光处理过的聚偏氟乙烯薄膜的水滴接触角约为150°,这表明经激光处理后的聚偏氟乙烯材料具有超疏水特点。
激光技术 聚偏氟乙烯 超疏水 仿生表面 微纳结构 
中国激光
2021, 48(2): 0202002
邵长香 1赵扬 1,*陈南 1朱宏伟 2[ ... ]曲良体 1,5,*
作者单位
摘要
1 光电转换材料北京市重点实验室, 原子分子簇科学教育部重点实验室, 北京理工大学化学与化工学院, 北京 100081
2 教育部先进材料加工技术重点实验室, 清华大学材料学院, 北京 100084
3 吉林大学电子科学与工程学院, 吉林 长春 130012
4 教育部先进材料加工技术重点实验室, 清华大学精密仪器系, 北京 100084
5 教育部先进材料加工技术重点实验室, 摩擦学国家重点实验室, 清华大学机械工程系&化学系, 北京 100084;
物联网和可穿戴器件的快速发展对传感器的制备和性能提出了更高的要求。由于加工速度快、精度高、可控性强、易集成、与材料兼容性高等优点,激光微纳制造已逐渐成为一种流行的材料制备和器件加工技术。通过激光诱导加热、反应和分离这三种激光加工方式实现了对不同材料的激光处理,这为传感器的制备奠定了基础。近年来,研究人员利用激光微纳加工技术制备了应用于紫外线、气体、湿度、温度、应变/应力、生物、环境等信号监测的不同传感器。总结和归纳了目前存在的问题,展望了激光微纳制造在传感领域中的发展方向。希望文中对激光微纳制造应用于传感领域的介绍和总结能够为未来的研究和发展提供思路和参考。
激光技术 激光-材料相互作用 微纳制造 功能性 传感器 
中国激光
2021, 48(2): 0202014
作者单位
摘要
1 集成光电子学国家重点实验室, 吉林大学电子科学与工程学院, 吉林 长春 130012
2 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 清华大学精密仪器系, 北京 100084
激光诱导的相变是超短脉冲激光对材料进行加工改性的关键物理过程。由热效应驱动的光致相变通常都源于材料无序化,例如熔化或蒸发。在此情况下,光对材料原子尺度的控制力面临困难,加工改性的精度受限。而短脉冲的非热效应可以实现更高精度的相变控制,但是由于光与物质的相互作用过程复杂,相关机理仍在探索之中。介绍了近年来超短脉冲激光诱导非热相变的实验观测结果以及相应的机理研究进展,重点对比介绍了几种可以描述原子尺度机制的理论方法和超快激光在相变材料中诱导非热相变的动力学机理。最后讨论了理论机理对激光控制相变的参考意义。
超快光学 光与物质相互作用 非热相变 物理机制 第一性原理计算 
中国激光
2021, 48(2): 0202001
作者单位
摘要
1 吉林大学物理学院, 吉林 长春 130012
2 吉林大学电子技术与科学学院, 集成光电子学国家重点实验室, 吉林 长春 130012
现今各个应用领域的器件微型化、功能化和集成化的发展趋势,对微纳加工技术提出了巨大挑战。越来越多器件的核心设计都依赖于高度图案化的三维复杂微纳结构。3D飞秒激光纳米打印(FsLNP)是一种无掩模的、利用飞秒激光直写进行加工的三维增材加工技术。其高度可设计性和远超光学衍射极限的高加工精度能够充分满足复杂技术需求。基于3D飞秒激光纳米打印独特的双光子聚合机制,只要合理设计所需材料的光聚合方案和微纳结构,可以制备一系列效率高且性能优越的微纳器件。简要介绍了3D飞秒激光纳米打印的技术要点、基本原理和目前所涉及的典型应用。
激光技术 飞秒激光 3D纳米打印 双光子聚合 三维微纳结构 
激光与光电子学进展
2018, 55(1): 011410

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